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Sistema CVD ad alto vuoto a 9 canali a 3 temperature a 1200 ° C OTF-1200X-4-III-9HV-
1200 ° C Tre Zona di Temperatura Nove Canali Mixed Gas High Vacuum CVD System OTF-1200X-4-III-9HV-
Dettagli del prodotto

GSL-1700X-HVC9 è un forno a tubi di allumina certificato CE da 80 mm di diametro con sistema di pompa a vuoto (fino a 10-5 torr) e misuratori di portata digitale di precisione a 9 canali, che possono controllare nove tipi di gas per CVD o diffusione e lavorare fino a 1700oC.

技术参数
Struttura del forno

● Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria

● Due ventole di raffreddamento all'interno per mantenere la temperatura del caso < 55oC.

● 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长炉膛的使用寿命

● Camera refrattaria dell'allumina ad alta purezza

● Il sistema di miscelazione del vuoto e del gas si trova nel fondo Carrello mobile con 4 ruote

● Flangia di vuoto, manometro, valvole, tubo e pompa ad alto vuoto sono inclusi per uso immediato

Potenza 6 Kw
Tensione AC 208-240V monofase, 50/60 Hz
Elemento riscaldante Elemento riscaldante MoSi2 grado 8 pcs1800°C
Temperatura massima 1700°C(< 1 ore)
Temperatura continua 1600°C
Tasso massimo di riscaldamento ≤5°C/min
Dimensioni e materiali del tubo

● Tubo di allumina Premier Grade made in USA

● (标配尺ल) ( 60mm) O.D.x I.D. (54mm) x 1000mm Lunghezza

● (选配尺ल) ( 80mm) O.D.x I.D. (74mm) x 1000mm Lunghezza

● Due paia di supporto SS tune sono installate per evitare la piegatura del tubo ad alta temperatura (clicca l'immagine qui sotto per vedere i dettagli).

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Zona di riscaldamento

● Lunghezza della zona di riscaldamento: 457 mm (18")

Lunghezza della zona: 150 mm (6")(+/-1oC)注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。 您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

Regolatori di temperatura

● Un regolatore di temperatura digitale di precisione programmabile con 50 segmenti.

● PID regolabile con funzione di regolazione automatica per garantire la stabilità della temperatura entro +/- 1 ° C. 控温仪表操作视频

● Protezione completa in ogni controller per sovratemperatura e coppia termica rotta.

Coppia termica Coppie termiche tipo B incorporate
Flange sottovuoto

● Due flange in acciaio inossidabile con tubo di aspirazione e tubo di raccordo del gas. Una flangia è installata con adattatore KFD-40 e valvola a sfera

● Doppio O-ring in silicone ad alta temperatura per uso inferiore a 300°C

● Blocchi di allumina porosa inclusi per proteggere la flangia dalle radiazioni termiche

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Pompe per vuoto

Pompa per vuoto delle fasi di traino installata nel caso inferiore:

● Pompa a vuoto meccanica ad alta velocità a palette rotante a doppio passo T2XZ-4C110con pressione massima di vuoto di 10-2 torr.

● Una pompa turbomolecolare con pressione massima di vuoto di 2x10-5 torr.

● Un sensore di vuoto di precisione installato.

● Tubo flessibile in acciaio inossidabile è incluso per il collegamento al forno del tubo

● Misuratore di vuoto digitale / controller installato

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Sensore di vuoto & display

● Il sensore di vuoto è installato per la flangia di vuoto sul forno del tubo e si collega a un display digitale della pressione del vuoto.

● Regolatore di vuoto e display sono installati nel carrello mobile inferiore

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Misuratore di portata del gas
Manuale utente (Clicca per scaricare)

● 9 regolatori di portata massica di precisione (CS200) sono installati nel carrello mobile inferiore con pannello di visualizzazione digitale di +/-1% di Full Scale (la precisione è entro il 35%-100% di full scale)
● 3 MFC a intervallo 0 - 1000scc
● 3 MFC a intervallo 0 - 200scc
● 3 MFC a intervallo 0 - 10 scc
● un misuratore galleggiante sarà installato solo per gas N2

● Un misuratore di pressione meccanico è installato nel carrello mobile inferiore per monitorare la pressione di ogni gas nel miscelatore.

● 9mass flow MFC pannelli di controllo / display con pulsante di selezione per regolare la portata del gas. Si prega di vedere la foto qui sotto.

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Software e interfaccia (opzionale a un costo aggiuntivo). Fare clic su uderline per istruzioni sul funzionamento del software

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Raccordo per tubi, valvole e miscelatore gas

● SS 316 1/4" tubo / raccordo

● Valvole ad ago vuoto SS 316

● 21 Le serie di valvole di vuoto in acciaio inossidabile sono installate al di fuori del pannello laterale destro del gabinetto mobile per controllare, pompa di vuoto, gas fluenti e due gas di ingresso separatamente.

● Clicca qui per vedere lo schizzo del collegamento del tubo.

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Dimensione Forno: 550 x 380 x 520 Fondo Cassa mobile: 600x600x597
Peso netto circa 100 kg
Peso di spedizione 200 Lb
Dimensione del pacchetto di spedizione dopo crating Due casse in un pallet di plastica: 45x45x35/cassa
Garanzia e certificato

● Garanzia limitata di un anno (parti di consumo come tubi di lavorazione, o-ring e elementi riscaldanti non sono coperti dalla garanzia, si prega di ordinare la sostituzione ai prodotti correlati di seguito.)

● Certificato CE

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